ケイ酸ハフニウム(IV)

ケイ酸ハフニウム(IV)（Hafnium(IV) silicate、HfSiO₄）は、ハフニウムのケイ酸塩である。天然にはハフノンとして産出するが、多くの場合ジルコニウムを含む。ケイ酸ハフニウムのジルコニウム置換体が(ケイ酸ジルコニウム)（英語版）（ジルコン）となる。融点2758度。

ケイ酸ハフニウムとケイ酸ジルコニウムの薄膜は化学気相成長法（主にMOCVD）によって作られ、半導体材料である二酸化ケイ素に代わる高誘電率誘電体（high-k dielectric）として使うことができる。

関連項目

• 塩化ハフニウム(IV)
• (ケイ酸ジルコニウム(IV))